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本書主要介紹壓電MEMS諧振器的各種制作材料、工藝、參數(shù)、特性、測試和評估方法等，并針對相關(guān)器件商業(yè)化難題進(jìn)行了討論，給出了兩個成功案例。本書共16章，包含4部分內(nèi)容：第Ⅰ部分介紹了科研環(huán)境下廣泛使用的MEMS諧振器壓電材料；第Ⅱ部分介紹了相關(guān)諧振器的種類和特色；第Ⅲ部分介紹了壓電MEMS諧振器的較為先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念以及