第1章 緒論
1.1 MEMS的發(fā)展
1.2 生化MEMS的發(fā)展
1.3 我國生化M。EMS的研究
1.4 本書的主要內容
第2章 微型泵和微型閥
2.1 概述
2.1.1 微型泵和微型閥的應用背景
2.1.2 微型閥的研究概況
2.1.3 微型泵的研究概況
2.2 關鍵體硅工藝研究
2.2.1 體硅各向異性腐蝕工藝
2.2.2 犧牲層腐蝕技術
2.2.3 深層重摻雜自停止腐蝕技術
2.2.4 雙面光刻技術
2.2.5 凸角腐蝕補償
2.3 微型泵的工作機理
2.3.1 彈性薄板變形分析
2.3.2 壓電致動
2.3.3 雙層壓電梁致動分析
2.4 其他致動方式
2.4.1 熱雙金屬致動
2.4.2 靜電致動
2.4.3 電磁致動
2.5 微型閥的過流特性分析
2.5.1 引言
2.5.2 沿程損失
2.5.3 單晶硅微型閥的建模、仿真和測試
2.5.4 聚酰亞胺微型閥的建模、仿真和測試
2.6 微型機電系統(tǒng)的等效網(wǎng)絡分析方法
2.6.1 引言
2.6.2 微型泵的等效電路網(wǎng)絡模型
2.6.3 壓電致動微型泵的性能仿真
2.6.4 壓電致動微型泵的性能測試
參考文獻
第3章 微型懸臂梁生化傳感器
3.1 微型懸臂梁傳感器
3.1.1 微型懸臂梁傳感器的結構與敏感機理
3.1.2 微型懸臂梁傳感器的應用
3.2 微型懸臂梁傳感器的模型與設計
3.2.1 基本理論
3.2.2 連續(xù)層合薄板模型
3.2.3 非連續(xù)層合薄板模型
3.3 微型懸臂梁傳感器的制造方法
3.3.1 表面微加工技術
3.3.2 體微加工技術
3.4 微型懸臂梁生化檢測傳感器
3.4.1 化學傳感器
3.4.2 生物傳感器
參考文獻
第4章 基于MEMS的FAIMS檢測技術
4.1 FAIMS簡介
4.1.1 什么是FAIMS
4.1.2 FAIMS的研究背景
4.1.3 高場非對稱波形離子遷移譜的基本理論
4.1.4 FAIMS技術的國內外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢
4.2 影響FAIMS的各種因素
4.2.1 離子在遷移區(qū)中運動的分析
4.2.2 離子在遷移區(qū)的分布
4.2.3 遷移管的響應特性
4.2.4 遷移管的飽和電流
4.2.5 遷移管的阻抗
4.2.6 遷移管的功率
4.2.7 FAIMS的靈敏度和分辨力
4.2.8 重疊峰的解析
4.3 離子源設計
4.3.1 離子化方案選擇
4.3.2 電暈放電離子源
4.3.3 大氣輝光放電離子源
4.4 高壓高頻不對稱波形電源的設計
4.4.1 基于功率M()SFET的脈沖源系統(tǒng)方案
4.4.2 脈沖源系統(tǒng)各單元電路設計
4.4.3 開關電路的設計
4.4.4 功率M()SFET相關電路仿真
4.5 離子檢測
4.5.1 幾種常用的離子檢測方法
4.5.2 機械式法拉第筒設計與實驗
4.5.3 微法拉第筒設計
4.5.4 微法拉第筒仿真
4.5.5 微法拉第筒工藝
4.5.6 微法拉第筒測試
4.6 樣品分析實驗
4.6.1 FAIMS芯片實驗系統(tǒng)
4.6.2 方波射頻電壓幅值變化對FAIMS靈敏度的影響
4.6.3 射頻電壓幅值、頻率和載氣流速對2—戊酮FAIMS檢測結果的影響
4.6.4 FAIMS芯片檢測限實驗
參考文獻
第5章 基于MEMS的細胞操作與分析技術
5.1 概述
5.2 基于MEMS的細胞操作技術
5.2.1 細胞的操縱、分選和捕獲
5.2.2 細胞的注入
5.3 基于MEMS的細胞監(jiān)測與分析技術
5.3.1 基于微電極的細胞電阻抗監(jiān)測與分析技術
5.3.2 膜片鉗芯片細胞監(jiān)測與分析技術
5.3.3 其他MEMs細胞監(jiān)測與分析技術
5.4 納米技術在細胞操作與分析中的應用
參考文獻