《掃描電子顯微分析》是“中國(guó)分析測(cè)試技術(shù)叢書(shū)”的一個(gè)分冊(cè)。內(nèi)容包括：掃描電子顯微分析常規(guī)的顯微形貌、成分和結(jié)構(gòu)分析，重點(diǎn)反映其新原理、技術(shù)和成果，比如數(shù)字式掃描電鏡的結(jié)構(gòu)、鏡筒內(nèi)探測(cè)器、可變真空和低能量電子束等多種工作模式、分辨率指標(biāo)的測(cè)量技術(shù)等。書(shū)中對(duì)較難掌握的分析方法和過(guò)程用實(shí)例做了講解，如電子背散射衍射花樣的探測(cè)和標(biāo)定、取向測(cè)量的校準(zhǔn)；對(duì)在掃描電鏡基礎(chǔ)平臺(tái)上構(gòu)建的陰極熒光、電子束閘、雙束和多束、同步掃描原子力顯微鏡、光電關(guān)聯(lián)激光拉曼、冷凍傳輸、高通量和超快等擴(kuò)展聯(lián)用技術(shù)及應(yīng)用做了介紹。