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微電子制造科學(xué)原理與工程技術(shù) 
定 價：159 元 叢書名：國外電子與通信教材系列
9 7 4 8 4 7 7 1 4 2 6 1 4 讀者對象:本書可作為高等院校微電子、集成電路專業(yè)本科生和研究生相關(guān)課程的教材或參考書，也可供與集成電路制造工藝技術(shù)有關(guān)的專業(yè)技術(shù)人員學(xué)習(xí)參考。
本書對微納制造技術(shù)的各個領(lǐng)域都給出了一個全面透徹的介紹, 覆蓋了集成電路制造所涉及的所有基本單項(xiàng)工藝, 包括光刻、等離子體和反應(yīng)離子刻蝕、離子注入、擴(kuò)散、氧化、蒸發(fā)、氣相外延生長、濺射和化學(xué)氣相淀積等。對每一種單項(xiàng)工藝, 不僅介紹了它的物理和化學(xué)原理, 還描述了用于集成電路制造的工藝設(shè)備。本書新增了制作納米集成電路及其他半導(dǎo)體器件所需的各種基本單項(xiàng)工藝, 還介紹了22 nm 的FinFET 器件、氮化鎵LED 及薄膜太陽能電池、新型微流體器件的制造工藝流程。
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