集成電路封裝材料是集成電路封裝測試產業(yè)的基礎,而集成電路先進封裝中的關鍵材料是實現先進封裝工藝的保障。本書系統(tǒng)介紹了集成電路先進封裝材料及其應用,主要內容包括緒論、光敏材料、芯片黏接材料、包封保護材料、熱界面材料、硅通孔相關材料、電鍍材料、靶材、微細連接材料及助焊劑、化學機械拋光液、臨時鍵合膠、晶圓清洗材料、芯片載體材料等。 本書適合集成電路封裝測試領域的科研人員和工程技術人員閱讀使用,也可作為高等學校相關專業(yè)的教學用書。
王謙博士,清華大學信息科學技術學院副研究員,中國半導體行業(yè)協會封裝分會常務理事。曾在東京大學、韓國三星綜合技術研究院、三星半導體中國研究開發(fā)有限公司等研究機構進行先進封裝互連技術及可靠性、MEMS封裝與測試技術、微系統(tǒng)封裝及可靠性分析的研究工作。
第1章 緒論
1.1 集成電路產業(yè)及集成電路封裝測試產業(yè)
1.2 集成電路先進封裝
1.2.1 倒裝芯片封裝
1.2.2 圓片級封裝
1.2.3 三維集成
1.3 集成電路先進封裝材料概述
參考文獻
第2章 光敏材料
2.1 光敏絕緣介質材料
2.1.1 光敏絕緣介質材料在先進封裝中的應用
2.1.2 光敏絕緣介質材料類別和材料特性
2.1.3 新技術與材料發(fā)展
2.2 光刻膠
2.2.1 光刻膠在先進封裝中的應用
2.2.2 光刻膠類別和材料特性
2.2.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第3章 芯片黏接材料
3.1 芯片黏接材料在先進封裝中的應用
3.2 芯片黏接材料類別和材料特性
3.2.1 導電膠
3.2.2 導電膠膜
3.2.3 焊料
3.2.4 低溫封接玻璃
3.3 新技術與材料發(fā)展
3.3.1 芯片黏接材料發(fā)展方向
3.3.2 新型導電填料對芯片黏接材料的改性研究
參考文獻
第4章 包封保護材料
4.1 環(huán)氧塑封料
4.1.1 環(huán)氧塑封料在先進封裝中的應用
4.1.2 環(huán)氧塑封料類別和材料特性
4.1.3 新技術與材料發(fā)展
4.2 底部填充料
4.2.1 底部填充料在先進封裝中的應用
4.2.2 底部填充料類別和材料特性
4.2.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第5章 熱界面材料
5.1 熱界面材料在先進封裝中的應用
5.2 熱界面材料類別和材料特性
5.2.1 導熱膏
5.2.2 導熱墊片
5.2.3 相變材料
5.2.4 導熱凝膠
5.2.5 導熱膠帶
5.2.6 導熱灌封膠
5.3 新技術與材料發(fā)展
5.3.1 填料技術在熱界面材料中的應用
5.3.2 納米技術在熱界面材料中的應用
參考文獻
第6章 硅通孔相關材料
6.1 絕緣層
6.1.1 絕緣層在先進封裝中的應用
6.1.2 絕緣層材料類別和材料特性
6.1.3 發(fā)展現狀及趨勢
6.1.4 新技術與材料發(fā)展
6.2 黏附層和種子層
6.2.1 黏附層和種子層在先進封裝中的應用
6.2.2 黏附層和種子層材料類別和材料特性
6.2.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第7章 電鍍材料
7.1 硅通孔電鍍材料
7.1.1 硅通孔電鍍材料在先進封裝中的應用
7.1.2 硅通孔電鍍材料類別和材料特性
7.1.3 新技術與材料發(fā)展
7.2 凸點電鍍材料
7.2.1 凸點電鍍材料在先進封裝中的應用
7.2.2 凸點電鍍材料類別和材料特性
7.2.3 新技術與材料發(fā)展
7.3 電鍍陽極材料
7.3.1 電鍍陽極材料在先進封裝中的應用
7.3.2 電鍍陽極材料類別和材料特性
參考文獻
第8章 靶材
8.1 濺射靶材在先進封裝中的應用
8.2 濺射靶材類別和材料特性
8.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第9章 微細連接材料及助焊劑
9.1 微細連接材料
9.1.1 微細連接材料在先進封裝中的應用
9.1.2 微細連接材料類別和材料特性
9.1.3 新技術與材料發(fā)展
9.2 助焊劑
9.2.1 助焊劑在先進封裝中的應用
9.2.2 助焊劑類別和材料特性
9.2.3 助焊劑材料的發(fā)展
參考文獻
第10章 化學機械拋光液
10.1 化學機械拋光液在先進封裝中的應用
10.2 化學機械拋光液類別和材料特性
10.3 化學機械拋光液的應用趨勢
10.4 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第11章 臨時鍵合膠
11.1 臨時鍵合膠在先進封裝中的應用
11.1.1 超薄晶圓的發(fā)展
11.1.2 臨時鍵合工藝
11.1.3 臨時鍵合的要求
11.2 臨時鍵合膠類別和材料特性
11.2.1 臨時鍵合膠分類
11.2.2 典型產品介紹
11.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第12章 晶圓清洗材料
12.1 晶圓清洗材料在先進封裝中的應用
12.2 晶圓清洗材料類別和材料特性
12.3 新技術與材料發(fā)展
參考文獻
第13章 芯片載體材料
13.1 芯片載體材料在先進封裝中的應用
13.1.1 芯片載體材料的產生與發(fā)展
13.1.2 芯片載體材料的分類與應用
13.2 硅/玻璃中介轉接層的基本結構及關鍵工藝
13.2.1 TSV關鍵工藝及材料
13.2.2 TGV關鍵工藝及材料
13.3 有機基板材料類別和材料特性
13.3.1 剛性有機基板
13.3.2 柔性有機基板
13.3.3 有機基板的材料特性
13.4 有機基板新技術與材料發(fā)展
13.4.1 有機基板關鍵制造工藝
13.4.2 新型基板技術
參考文獻
附錄A 集成電路先進封裝材料發(fā)展戰(zhàn)略調研組調研的企業(yè)、高校和科研院所清單
附錄B 先進封裝材料分類