本書全面系統(tǒng)地介紹了離散制造過程的批間控制理論及其設(shè)計(jì)方法，側(cè)重于介紹混合制程批間控制研究的近期新進(jìn)展。全書共7章，分為三大部分，一部分針對混合制程的控制問題，闡述了基于JADE、ANOVA、G＆P-EWMA、貝葉斯估計(jì)及擴(kuò)張狀態(tài)觀測器的批間控制理論與設(shè)計(jì)方法；二部分針對帶測量時(shí)延的制程控制問題，給出系統(tǒng)穩(wěn)定性分析、測量時(shí)延概率的估計(jì)算法及EWMA濾波器設(shè)計(jì)方法；三部分結(jié)合貝葉斯理論，研究批間控制性能評估方法，并給出批間控制器協(xié)同設(shè)計(jì)策略。本書適合從事離散制造業(yè)控制、半導(dǎo)體晶圓加工過程監(jiān)控、計(jì)算機(jī)控制、系統(tǒng)工程等研究方向的廣大科技人員閱讀，也可供高等院校相應(yīng)專業(yè)的師生參考。
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前言
1章 批間控制概述
1.1 引言
1.2 批間控制算法
1.2.1 基于靜態(tài)模型的批間控制器
1.2.2 基于動態(tài)模型的批間控制器
1.3 混合制程的批間控制器
1.3.1 線程批間控制算法
1.3.2 非線程批間控制算法
1.4 主要內(nèi)容
參考文獻(xiàn)
2章 混合制程的批間控制
2.1 引言
2.2 混合制程的線程控制模式
2.3 混合制程的非線程控制模式
2.4 基于JADE的批間控制器設(shè)計(jì)
2.4.1 基于JADE的狀態(tài)觀測器
2.4.2 算例分析
2.5 基于ANOVA的批間控制器設(shè)計(jì)
2.5.1 基于ANOVA的狀態(tài)觀測器
2.5.2 算例分析
2.6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3章 G&P-EWMA批間控制
3.1 引言
3.2 G&P-EWMA批間控制
3.2.1 Pb-EWMA批間控制器設(shè)計(jì)
3.2.2 G&P-EWMA批間控制器設(shè)計(jì)
3.2.3 G&P-EWMA批間控制器參數(shù)優(yōu)化
3.3 算例分析
3.3.1 數(shù)值仿真
3.3.2 工業(yè)案例
3.4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
4章 基于貝葉斯估計(jì)的批間控制
4.1 引言
4.2 基于貝葉斯估計(jì)的狀態(tài)觀測器
4.2.1 貝葉斯估計(jì)理論
4.2.2 狀態(tài)空間模型
4.2.3 狀態(tài)觀測器設(shè)計(jì)
4.3 算例分析
4.3.1 機(jī)臺跳變擾動
4.3.2 機(jī)臺漂移擾動
4.3.3 新舊產(chǎn)品交替
4.3.4 模型不匹配
4.3.5 低頻產(chǎn)品
4.3.6 不同擾動下的貝葉斯估計(jì)法
4.4 工業(yè)數(shù)據(jù)實(shí)例分析
4.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
5章 基于擴(kuò)張狀態(tài)觀測器的批間控制
5.1 引言
5.2 基于LESO的批間控制
5.2.1 LESO批間控制器設(shè)計(jì)
5.2.2 LESO批間控制器穩(wěn)定性分析
5.2.3 批間控制器的內(nèi)�？刂泼枋�
5.3 基于NLESO的混合制程批間控制
5.3.1 NLESO批間控制器設(shè)計(jì)
5.3.2 NLESO批間控制器穩(wěn)定性分析
5.4 算例分析
5.4.1 機(jī)臺跳變擾動
5.4.2 機(jī)臺漂移擾動
5.4.3 跳變、漂移和IMA（1，1）模型復(fù)合擾動
5.4.4 ARIMA（1，1，1）干擾和模型不匹配復(fù)合擾動
5.5 工業(yè)數(shù)據(jù)實(shí)例分析
5.6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
6章 帶測量時(shí)延制程的批間控制器性能分析
6.1 引言
6.2 帶固定測量時(shí)延制程的批間控制器性能分析
6.3 帶時(shí)變測量時(shí)延制程的批間控制器性能分析
6.3.1 批間控制器穩(wěn)定性分析
6.3.2 帶固定間隔測量時(shí)延制程的批間控制器穩(wěn)定性分析
6.3.3 帶隨機(jī)時(shí)變測量時(shí)延制程的批間控制器穩(wěn)定性分析
6.4 帶時(shí)變隨機(jī)測量時(shí)延制程的批間控制器設(shè)計(jì)
6.4.1 測量時(shí)延概率估計(jì)
6.4.2 系統(tǒng)輸出靜差調(diào)整
6.4.3 系統(tǒng)穩(wěn)定性分析
6.4.4 算例分析
6.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
7章 批間控制器性能評估方法
7.1 引言
7.2 典型干擾下的批間控制性能分析
7.3 基于參數(shù)估計(jì)的批間控制性能評估算法
7.3.1 參數(shù)估計(jì)
7.3.2 性能評估指標(biāo)
7.3.3 算例分析
7.4 基于貝葉斯后驗(yàn)概率的批間控制性能評估算法
7.4.1 貝葉斯后驗(yàn)概率
7.4.2 貝葉斯性能評估指標(biāo)
7.4.3 算例分析
7.5 基于貝葉斯性能評估的批間控制器協(xié)同設(shè)計(jì)
7.5.1 批間控制器協(xié)同設(shè)計(jì)方法
7.5.2 算例分析
7.6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
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