從微電子工業(yè)到航天器推進(jìn)系統(tǒng)乃至高效光源，低溫射頻等離子體在各種前沿技術(shù)中扮演著重要的角色，而且它是物理學(xué)、化學(xué)及工程學(xué)之間相互交叉的一個(gè)學(xué)科。《射頻等離子體物理學(xué)》主要聚焦在物理學(xué)方面，所以主要適用于應(yīng)用物理及電子工程專業(yè)的研究生及科研人員�！渡漕l等離子體物理學(xué)》不僅對射頻等離子體的前沿進(jìn)展進(jìn)行綜述，同時(shí)也包括一些等