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硅通孔三維集成電路實(shí)現(xiàn)了晶圓在豎直方向的堆疊集成，具有集成度高、互連延遲小、速度快等優(yōu)點(diǎn);因而得到了廣泛關(guān)注，本書系統(tǒng)化介紹了硅通孔三維集成電路測試中的各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，為讀者進(jìn)行更深層次的三維集成電路設(shè)計(jì)、模擬、測試和可測性設(shè)計(jì)打下良好的基礎(chǔ)，也為三維集成電路的設(shè)計(jì)、制造、測試和應(yīng)用之間建立一個相互交流的平臺， 本書主要

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