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折射衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)的單步光刻與濕法蝕刻原理與應(yīng)用

折射衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)的單步光刻與濕法蝕刻原理與應(yīng)用

定  價(jià):169 元

        

  • 作者:張新宇,謝長(zhǎng)生著
  • 出版時(shí)間:2021/10/1
  • ISBN:9787118122848
  • 出 版 社:國(guó)防工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TN405.98 
  • 頁碼:211頁
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:1
  • 開本:16K
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本書主要針對(duì)可見光、紅外和太赫茲等譜域的折射與衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu),開展新的設(shè)計(jì)、工藝制作和測(cè)試評(píng)估方法的研究。重點(diǎn)論述了以折射和衍射微光學(xué)積分變換為基礎(chǔ),有效出射可見光、紅外及太赫茲多譜圖像與波前的基礎(chǔ)理論和基本方法,建立了基于衍射相位精細(xì)構(gòu)建在設(shè)計(jì)、仿真、工藝、測(cè)試與評(píng)估等方面的數(shù)據(jù)和方法體系。
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