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MEMS慣性傳感器接口芯片集成技術
本書內(nèi)容主要是MEMS慣性傳感器接口電路相關知識。本書簡要介紹了MEMS慣性傳感器分類和發(fā)展過程及趨勢,分析了包括陀螺、加速度計等核心慣性MEMS器件的工作原理,論述了多種典型傳感器接口ASIC的原理、設計及應用,講述了MEMS傳感器接口電路中的降噪、控制和補償?shù)汝P鍵技術,結合作者研究經(jīng)驗列舉了典型的設計實例并給予深入的剖析和總結。
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