本書共分11章，分別介紹了精密刻劃技術與超精密加工技術、分劃的機械制作方法與設備、光學光刻技術、非光學光刻技術、刻蝕技術、微透鏡及其陣列制造技術、光柵和光學碼盤的制造技術、光學復制技術、分劃零件的檢驗技術、超精密特種加工技術、超精密測試技術等內容。