傳感器在當(dāng)代科學(xué)技術(shù)中占有十分重要的地位，所有以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的自動(dòng)化、智能化系統(tǒng)，都需要傳感器提供賴以做出實(shí)時(shí)決策的數(shù)據(jù)。近年來，作為信息獲取的傳感器技術(shù)的發(fā)展非常迅速。由于傳感器技術(shù)自身的復(fù)雜性、綜合性以及應(yīng)用的個(gè)性化，使得經(jīng)典原理的傳感器的生命周期遠(yuǎn)遠(yuǎn)長(zhǎng)于信息技術(shù)中傳輸與處理，非常明顯的發(fā)展趨勢(shì)是：沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應(yīng)，優(yōu)先使用晶體材料，采用微機(jī)械加工工藝和微電子技術(shù)，從傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向微機(jī)械加工工藝的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，研制各種新型傳感器及傳感器系統(tǒng)，以滿足體積、質(zhì)量、功耗及動(dòng)、靜態(tài)特性等方面的要求。 本教材簡(jiǎn)要介紹了新型傳感技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)、傳感器的特性及其評(píng)估、傳感器技術(shù)中采用的先進(jìn)材料、以硅材料為重點(diǎn)的先進(jìn)制造技術(shù)、傳感器敏感結(jié)構(gòu)的建模和模擬計(jì)算方法；介紹多類具有代表性的傳感器的測(cè)量原理及應(yīng)用：熱電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、壓阻式傳感器、電容式傳感器、電磁式傳感器、壓電式傳感器、薄膜式傳感器、諧振式傳感器、聲表面波傳感器等。 本教材在每一章都給出一些應(yīng)用實(shí)例及分析，并配有豐富的思考題與習(xí)題。 本教材可作為測(cè)控技術(shù)與儀器、電氣工程及其自動(dòng)化、自動(dòng)化、機(jī)械工程及自動(dòng)化、過程裝備與控制工程、探測(cè)制導(dǎo)與控制技術(shù)等專業(yè)本科生的教材，也可作為儀器科學(xué)與技術(shù)、控制科學(xué)與工程、機(jī)械工程等學(xué)科研究生的教材，也可供有關(guān)的工程技術(shù)人員參考。