本書概要地介紹MEMS的設(shè)計與制造，全書共分7章，內(nèi)容包括：MEMS的概論，MEMS的設(shè)計，集成電路（IC）基本制造技術(shù)，MEMS的制作技術(shù)，微傳感器，微執(zhí)行器以及MEMS的應用及檢測技術(shù)。本書針對非微電子專業(yè)的高年紀本科生和研究生學習MEMS技術(shù)之用。通過對本書的學習，使讀者能夠在集成電路制造技術(shù)方面，獲得必要的知識，同時對MEMS的設(shè)計與制造有一個比較完整的了解，為開展MEMS的研究奠定了必要的基礎(chǔ)。