本書力圖從幾類最新的傳感器入手介紹新型微機電器件及系統(tǒng)。全書共分七章, 主要內(nèi)容包括: 近年來微機電系統(tǒng)的發(fā)展、MEMS慣性器件及系統(tǒng)、回音壁模式微腔器件及系統(tǒng)、典型水聲傳感器件及系統(tǒng)、典型高溫壓力傳感器件及系統(tǒng)、量子傳感器件及系統(tǒng)、柔性傳感器件及系統(tǒng)。
本書內(nèi)容新穎, 技術(shù)先進, 涉及領(lǐng)域廣泛, 具有比較高的參考價值。本書可供儀器儀表、精密機械、傳感器、電子等相關(guān)專業(yè)的高年級本科生、研究生或相關(guān)專業(yè)技術(shù)人員參考和使用。