前言
第1章概論
1.1真空及真空獲得設備
1.2大氣壓力
1.3真空度
1.4真空區(qū)域劃分
1.5真空應用
第2章泵與真空泵
2.1泵的含義
2.2泵的分類
2.2.1基于泵的主軸方向不同的分類
2.2.2基于泵的吸口數(shù)目不同的分類
2.2.3基于泵的工作原理不同的分類
2.3真空泵
2.3.1真空泵的主要性能參數(shù)
2.3.2真空泵的名稱與代號
2.3.3真空泵型號組成
2.3.4真空泵的分類
2.3.5真空泵的工作壓力范圍
習題
第3章羅茨真空泵
3.1羅茨真空泵的種類
3.2羅茨真空泵的轉子形狀
3.3羅茨真空泵的工作原理
3.4羅茨真空泵的結構特點
3.5羅茨真空泵的基本參數(shù)確定
3.5.1幾何抽速
3.5.2實際抽速
3.5.3有效抽氣量
3.5.4零流量時壓縮比
3.5.5有效壓縮比
3.5.6功率
3.6羅茨真空泵設計案例
3.6.1轉子型線計算
3.6.2轉子型線繪制
3.6.3抽速驗證
習題
真空獲得設備及應用
目錄
第4章螺桿真空泵
4.1螺桿真空泵的種類
4.1.1基于螺桿數(shù)量不同的分類
4.1.2基于螺桿頭數(shù)不同的分類
4.1.3基于氣體壓縮方式不同的分類
4.2螺桿真空泵的工作原理
4.2.1吸氣過程
4.2.2壓縮過程
4.2.3排氣過程
4.3螺桿轉子端面型線
4.3.1單頭梯形型線
4.3.2矩形型線
4.3.3螺桿轉子三維模型建模案例
4.4螺桿真空泵的基本參數(shù)確定
4.4.1螺桿長度、螺紋升角與導程
4.4.2面積利用系數(shù)
4.4.3吸氣容積與幾何抽速
習題
第5章液環(huán)真空泵
5.1液環(huán)真空泵的種類
5.2液環(huán)真空泵的工作原理
5.3液環(huán)真空泵的基本參數(shù)確定
5.3.1抽氣速率
5.3.2極限壓力
5.3.3軸功率和效率
習題
第6章旋片真空泵
6.1旋片真空泵的種類
6.2旋片真空泵的工作原理
6.3旋片真空泵的結構特點
6.4旋片真空泵的基本參數(shù)確定
6.4.1極限壓力
6.4.2抽氣速率
6.4.3功率
6.5單級旋片真空泵設計案例
6.5.1基本參數(shù)的選取
6.5.2主要幾何尺寸的計算
習題
第7章滑閥真空泵
7.1滑閥真空泵的工作原理
7.2滑閥真空泵的結構特點
7.3滑閥真空泵的基本參數(shù)和主要尺寸確定
習題
第8章低溫真空泵
8.1低溫真空泵的種類
8.2低溫真空泵的工作原理
8.3低溫真空泵的結構特點
8.4低溫真空泵的基本參數(shù)確定
8.4.1極限壓力
8.4.2抽速
8.4.3排氣量
8.4.4制冷時間、功率及溫度
習題
第9章分子真空泵
9.1分子真空泵的種類
9.1.1基于轉子結構特征的分類
9.1.2基于軸承特性不同的分類
9.2分子真空泵的工作原理
9.2.1牽引分子真空泵的工作原理
9.2.2渦輪分子真空泵的工作原理
9.3渦輪分子真空泵的結構特點
習題
第10章真空系統(tǒng)
10.1真空室
10.2真空測量
10.3真空閥門
10.4真空機組
10.4.1低真空機組
10.4.2中真空機組
10.4.3高真空機組
10.4.4超高真空機組
10.5真空系統(tǒng)性能實驗裝置
10.5.1容積式真空泵標準測試臺
10.5.2真空泵（機組）性能研究實驗臺
10.6真空系統(tǒng)的抽氣時間
10.6.1粗真空、低真空下的抽氣時間
10.6.2高真空下的抽氣時間
10.6.3真空室壓力下降時的抽氣時間
10.7選泵與配泵
習題
第11章真空設備
11.1真空干燥設備
11.2真空鍍膜設備
11.3真空包裝設備
11.4真空輸送設備
11.5真空過濾設備
11.6真空絕熱設備
11.7真空熱處理設備
參考文獻