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MEMS光纖聲壓傳感器技術(shù) 
定 價(jià)：99 元
9 7 6 8 9 7 3 0 2 3 7 0 3 讀者對(duì)象:從事光纖聲壓傳感器相關(guān)技術(shù)人員以及高等院校相關(guān)專業(yè)的教師、高年級(jí)學(xué)生及研究生。
本書首先介紹MEMS光纖聲壓傳感器的結(jié)構(gòu)特征、發(fā)展歷程和應(yīng)用前景；其次根據(jù)MEMS光纖聲壓傳感器的工作原理，分別從光學(xué)和力學(xué)兩個(gè)角度進(jìn)行詳細(xì)的介紹與分析；然后從制作角度介紹傳感器的膜片加工和結(jié)構(gòu)封裝；最后對(duì)傳感器的性能進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)試。
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