第1章 引言
1.1 MEMS集成傳感器
1.2 MEMS傳感器接口電路集成技術(shù)特點(diǎn)及發(fā)展現(xiàn)狀
1.2.1 主要技術(shù)特點(diǎn)
1.2.2 國(guó)內(nèi)外發(fā)展趨勢(shì)
參考文獻(xiàn)

第2章 微加速度計(jì)接口ASIC集成技術(shù)
2.1 電容式加速度計(jì)接口電路
2.1.1 電容式微加速度計(jì)的工作原理
2.1.2 電容式加速度計(jì)接口電路
2.1.3 哈爾濱工業(yè)大學(xué)設(shè)計(jì)的閉環(huán)電容式加速度計(jì)接口電路
2.2 集成壓阻式加速度計(jì)接口電路
2.2.1 壓阻式加速度計(jì)的工作原理
2.2.2 壓阻式加速度計(jì)接口ASIC
2.3 集成壓電式加速度計(jì)接口電路
2.3.1 壓電式加速度計(jì)工作原理
2.3.2 壓電式加速度計(jì)接口電路
2.4 集成諧振式加速度計(jì)接口電路
2.4.1 諧振式加速度計(jì)工作原理
2.4.2 諧振式加速度計(jì)接口電路
2.5 集成熱對(duì)流武加速度計(jì)接口電路
2.5.1 熱對(duì)流加速度計(jì)的工作原理
2.5.2 熱對(duì)流加速度計(jì)接口電路
2.6 集成多軸加速度計(jì)接口電路
參考文獻(xiàn)

第3章 微機(jī)械陀螺接口ASIC集成技術(shù)
3.1 硅微機(jī)械陀螺
3.1.1 微機(jī)械陀螺等效電學(xué)模型
3.1.2 接口電路原理
3.1.3 PCB混合集成電路
3.2 石英微機(jī)械陀螺接口ASIC
3.2.1 石英微機(jī)械陀螺基本原理
3.2.2 石英微機(jī)械陀螺接口電路
3.3 典型集成微陀螺產(chǎn)品及應(yīng)用
3.3.1 ADXRS300
3.3.2 ADXRS614
參考文獻(xiàn)

第4章 磁傳感器接口ASIC集成技術(shù)
4.1 各向異性磁阻傳感器
4.1.1 各向異性磁阻傳感器原理
4.1.2 各向異性磁阻接口ASIC電路
4.2 巨磁阻傳感器
4.2.1 巨磁阻傳感器原理
4.2.2 巨磁阻傳感器接口ASIC
4.3 巨磁阻抗傳感器
4.3.1 巨磁阻抗傳感器原理
4.3.2 巨磁阻抗傳感器接口ASIC
4.4 磁通門傳感器
4.4.1 磁通門傳感器原理
4.4.2 等效電學(xué)模型
4.4.3 磁通門傳感器接口ASIC
參考文獻(xiàn)

第5章 MEMS壓力傳感器等接口ASIC集成技術(shù)
5.1 集成壓力傳感器
5.1.1 集成壓力傳感器分類
5.1.2 集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)及工作原理
5.1.3 壓力傳感器接口電路
5.1.4 典型集成壓力傳感器產(chǎn)品及應(yīng)用
5.1.5 國(guó)外各大公司集成壓力傳感器部分產(chǎn)品一覽
5.2微（型）麥克風(fēng)
5.2.1 常見(jiàn)麥克風(fēng)的種類
5.2.2 MEMS微麥克風(fēng)
5.2.3 電容式麥克風(fēng)的工作原理
5.2.4 微麥克風(fēng)接口電路
5.2.5 典型產(chǎn)品及應(yīng)用
5.3 MEMS紅外傳感器及接口電路
5.3.1 MEMS紅外傳感器工作原理
5.3.2 接口電路及單片集成
參考文獻(xiàn)