《先進(jìn)焦平面技術(shù)導(dǎo)論》以先進(jìn)焦平面技術(shù)為主線,在扼要概括國(guó)內(nèi)外研究歷程和技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)的基礎(chǔ)上,著重介紹了作者近年對(duì)雙色或雙譜段紅外焦平面芯片的數(shù)值設(shè)計(jì)、硅基碲鎘汞和鋁鎵氮多層材料的生長(zhǎng)工藝技術(shù)、碲鎘汞紅外雙色和鋁鎵氮紫外焦平面芯片加工技術(shù)、雙色焦平面多輸入級(jí)和數(shù)字傳輸讀出電路的設(shè)計(jì)技術(shù)、信號(hào)光輸出方法以及芯片級(jí)非均勻性校正、數(shù)據(jù)融合算法和實(shí)現(xiàn)方法的最新研究結(jié)果。
《先進(jìn)焦平面技術(shù)導(dǎo)論》適合從事紅外、紫外光電探測(cè)器以及系統(tǒng)應(yīng)用技術(shù),數(shù)據(jù)處理、融合技術(shù)的科研人員、大專院校研究生,作為深入了解本領(lǐng)域的專業(yè)基礎(chǔ)內(nèi)容、技術(shù)現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)的閱讀參考。
第1章 先進(jìn)焦平面技術(shù)的基本內(nèi)涵
1.1 紅外成像探測(cè)器歷史沿革和發(fā)展趨勢(shì)
1.2 先進(jìn)焦平面技術(shù)框架
1.2.1 先進(jìn)焦平面技術(shù)內(nèi)涵
1.2.2 通過提高空間分辨率和探測(cè)靈敏度提高目標(biāo)探測(cè)和識(shí)別距離
1.2.3 通過多色、多譜段集成探測(cè)手段提高目標(biāo)識(shí)別距離
1.2.4 通過光信號(hào)傳輸、數(shù)字處理芯片手段提高集成化、智能化水平
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參考文獻(xiàn)
第2章 碲鎘汞紅外探測(cè)器數(shù)值設(shè)計(jì)方法
2.1 概述
2.2 碲鎘汞紅外探測(cè)器數(shù)值模擬和設(shè)計(jì)
2.2.1 碲鎘汞探測(cè)器基礎(chǔ)
2.2.2 碲鎘汞紅外探測(cè)器數(shù)值計(jì)算
2.3 碲鎘汞材料、芯片參數(shù)提取方法
2.3.1 碲鎘汞材料參數(shù)提取
2.3.2 基于電學(xué)方法的碲鎘汞芯片參數(shù)提取
2.3.3 基于光電方法的碲鎘汞芯片參數(shù)提取
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第3章 硅基碲化鎘復(fù)合襯底技術(shù)以及碲鎘汞外延技術(shù)
3.1 概述
3.2 硅基碲鎘汞外延的若干基礎(chǔ)模型
3.2.1 硅基表面選擇性生長(zhǎng)的物理模型(表面As鈍化的機(jī)理)
3.2.2 硅基znTe/CdTe外延的原子分布模型
3.2.3 碲鎘汞材料中的As雜質(zhì)形態(tài)
3.2.4 p型摻雜的兩性行為
3.3 硅基碲鎘汞分子束外延技術(shù)
3.3.1 硅基ZnTe/CdTe緩沖層的分子束外延技術(shù)
3.3.2 大面積硅基碲鎘汞分子束外延技術(shù)
3.3.3 碲鎘汞分子束外延摻雜技術(shù)
3.4 硅基碲鎘汞液相外延技術(shù)
3.4.1 硅基cdR復(fù)合襯底的表面處理技術(shù)
3.4.2 液相外延工藝的調(diào)整
3.4.3 碲鎘汞液相外延材料的基本性能
3.4.4 存在問題及分析
3.5 硅基碲鎘汞材料的熱應(yīng)力分析
3.5.1 硅基碲鎘汞材料光譜特性的測(cè)量
3.5.2 多層結(jié)構(gòu)材料應(yīng)力狀態(tài)的理論分析
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第4章 鋁鎵氦外延技術(shù)
4.1 概述
4.2 氮化鎵基材料的基本性質(zhì)以及主要制備基礎(chǔ)
4.2.1 氮化鎵基材料的基本性質(zhì)以及在紫外探測(cè)器中的應(yīng)用
4.2.2 MOCVD外延生長(zhǎng)系統(tǒng)以及在位監(jiān)測(cè)方法
4.3 鋁鎵氮材料MOCVD外延生長(zhǎng)技術(shù)
4.3.1 GaN緩沖層上的鋁鎵氮外延技術(shù)
4.3.2 AlN緩沖層以及鋁鎵氮外延技術(shù)
4.3.3 氮化鎵材料的p型摻雜技術(shù)
4.4 鋁鎵氮材料綜合性能分析
4.4.1 位錯(cuò)對(duì)GaN材料的光學(xué)、電學(xué)性質(zhì)的影響
4.4.2 AlGaN材料的Al組分測(cè)量與應(yīng)變狀態(tài)確定
4.4.3 高Al組分AlGaN材料的組分均勻性
4.4.4 A1GaN材料的氧化現(xiàn)象
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第5章 碲鎘汞探測(cè)器芯片技術(shù)
5.1 概述
5.2 碲鎘汞探測(cè)器芯片加工技術(shù)
5.2.1 碲鎘汞微臺(tái)面列陣隔離技術(shù)
5.2.2 微臺(tái)面光刻技術(shù)
5.2.3 微臺(tái)面列陣的高質(zhì)量側(cè)壁鈍化技術(shù)
5.2.4 微臺(tái)面列陣的金屬化技術(shù)
5.2.5 微臺(tái)面列陣的銦柱制備與混成互連技術(shù)
5.3 雙色微臺(tái)面探測(cè)芯片
5.3.1 雙色探測(cè)芯片結(jié)構(gòu)的選型
5.3.2 雙色碲鎘汞微臺(tái)面探測(cè)器的制備
5.4 硅基碲鎘汞加工工藝技術(shù)
5.4.1 硅基碲鎘汞應(yīng)力分析以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
5.4.2 硅基碲鎘汞3英寸晶圓的應(yīng)力芯片低損傷加工技術(shù)
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第6章 鋁鎵氨焦平面探測(cè)器芯片技術(shù)
6.1 概述
6.2 鋁鎵氮p—i—n型日盲紫外探測(cè)器的響應(yīng)模型及設(shè)計(jì)
6.2.1 AlGaN薄膜材料的材料參數(shù)
6.2.2 AlGaN異質(zhì)結(jié)p—i—n探測(cè)器的響應(yīng)模型及設(shè)計(jì)
6.3 鋁鎵氮共振增強(qiáng)型紫外探測(cè)器
6.3.1 共振增強(qiáng)型紫外探測(cè)器的基本結(jié)構(gòu)
6.3.2 共振增強(qiáng)型紫外探測(cè)器的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)
6.4 鋁鎵氮探測(cè)器芯片加工技術(shù)
6.4.1 微臺(tái)面形成技術(shù)
6.4.2 芯片的鈍化
6.4.3 歐姆接觸技術(shù)
6.5 鋁鎵氮探測(cè)器的輻照效應(yīng)
6.5.1 質(zhì)子輻照效應(yīng)
6.5.2 電子輻照效應(yīng)
6.5.3 叫輻照效應(yīng)
6.5.4 GaN基紫外探測(cè)器的抗輻照研究
6.6 紫外焦平面組件的成像及其應(yīng)用
6.6.1 對(duì)氫氧焰灼燒的石英管的成像
6.6.2 對(duì)上海市區(qū)某輕軌和高架路的可見盲紫外圖像
6.6.3 對(duì)室外遠(yuǎn)景物體的成像
6.6.4 海洋溢油的航空紫外圖像
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第7章 讀出電路及焦平面測(cè)試技術(shù)
7.1 概述
7.2 讀出電路基本概念和發(fā)展趨勢(shì)
7.3 雙色讀出電路技術(shù)
7.3.1 常見的雙色信號(hào)讀出電路結(jié)構(gòu)
7.3.2 同時(shí)模式雙色信號(hào)讀出電路實(shí)現(xiàn)
7.3.3 紅外雙色讀出電路和紫外讀出電路設(shè)計(jì)示例
7.4 數(shù)字傳輸芯片技術(shù)
7.4.1 焦平面數(shù)字化的框架
7.4.2 焦平面片上ADC電路算法
7.4.3 焦平面片上ADC電路設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)
7.5 焦平面測(cè)試技術(shù)
7.5.1 紅外焦平面參數(shù)測(cè)試
7.5.2 紫外焦平面參數(shù)測(cè)試
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第8章 系統(tǒng)級(jí)芯片技術(shù)
8.1 概述
8.2 系統(tǒng)級(jí)封裝的基本概念以及技術(shù)趨勢(shì)
8.2.1 SiP技術(shù)
8.2.2 系統(tǒng)芯片的片上智能實(shí)時(shí)處理系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)途徑
8.3 焦平面數(shù)據(jù)無(wú)線光輸出的基本概念與實(shí)現(xiàn)方法
8.3.1 焦平面無(wú)線光輸出的基本概念
8.3.2 光輸出方法概述
8.3.3 串行紅外數(shù)據(jù)通信技術(shù)
8.4 焦平面非均勻性校正及其算法實(shí)現(xiàn)
8.4.1 焦平面非均勻性校正的概述
8.4.2 基于定標(biāo)的焦平面非均勻性校正算法
8.4.3 基于場(chǎng)景的焦平面非均勻性校正算法
8.5 多波段數(shù)據(jù)融合的基本概念與算法實(shí)現(xiàn)
8.5.1 多波段數(shù)據(jù)融合概述
8.5.2 多波段圖像融合先進(jìn)算法
8.5.3 基于DsP的多波段數(shù)據(jù)融合算法的實(shí)現(xiàn)
8.5.4 基于FPGA的多波段數(shù)據(jù)融合算法的實(shí)時(shí)實(shí)現(xiàn)
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