本書(shū)介紹表面分析主要技術(shù),包括俄歇電子能譜、X射線(xiàn)光電子能譜、二次離子質(zhì)譜、低能粒子散射和盧瑟福背散射技術(shù)、表面分子振動(dòng)光譜技術(shù)以及擴(kuò)展X射線(xiàn)吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)和掃描隧道顯微技術(shù)、原子力顯微技術(shù)等。
本書(shū)主要闡述上述表面分析技術(shù)的基本原理和實(shí)用樣品實(shí)例分析,每章結(jié)尾處還附有相關(guān)的分析練習(xí)題供讀者訓(xùn)練,判斷自己對(duì)書(shū)中知識(shí)內(nèi)容掌握的程度。
陳建,1969年1月生。中山大學(xué)研究員、教授、博士生導(dǎo)師。2001年獲中山大學(xué)凝聚態(tài)物理博士學(xué)位,導(dǎo)師許寧生院士。2002—2003年在香港中文大學(xué)從事博士后研究工作。現(xiàn)任國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)委員、中國(guó)物理學(xué)會(huì)光散射專(zhuān)業(yè)委員會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)、全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)表面化學(xué)分析分技術(shù)委員會(huì)委員、廣東省分析測(cè)試協(xié)會(huì)理事、廣東省表面分析專(zhuān)業(yè)委員會(huì)主任委員、廣東省石墨烯標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員以及《光散射學(xué)報(bào)》和《光譜學(xué)與光譜分析》編委。
第1章 引言
1.1 如何定義表面
1.2 表面有多少個(gè)原子
1.3 需要的信息
1.4 表面靈敏度
1.5 輻射效應(yīng)與表面損傷
1.6 數(shù)據(jù)的復(fù)雜性
第2章 俄歇電子能譜
2.1 引言
2.2 俄歇過(guò)程的原理
2.2.1 俄歇峰的動(dòng)能
2.2.2 電離截面
2.2.3 俄歇電子和光子出射的比較
2.2.4 電子背散射
2.2.5 逃逸深度
2.2.6 化學(xué)位移
2.3 儀器設(shè)備
2.3.1 電子源
2.3.2 譜儀
2.3.3 采集方式
2.3.4 檢測(cè)限
2.3.5 儀器校準(zhǔn)
2.4 定量分析
2.5 深度剖析
2.5.1 薄膜校準(zhǔn)標(biāo)樣
2.5.2 深度分辨率
2.5.3 濺射速率
2.5.4 擇優(yōu)濺射
2.5.5 λ-修正
2.5.6 AES剖析中的化學(xué)位移
2.6 結(jié)論
思考題
第3章 化學(xué)分析用電子能譜
3.1 概述
3.1.1 基本ESCA實(shí)驗(yàn)
3.1.2 光電效應(yīng)和ESCA的歷史
3.1.3 ESCA提供的信息
3.2 X射線(xiàn)與物質(zhì)的相互作用、光電效應(yīng)和固體的光電發(fā)射
3.3 結(jié)合能和化學(xué)位移
3.3.1 Koopmans定理
3.3.2 初態(tài)效應(yīng)
3.3.3 終態(tài)效應(yīng)
3.3.4 結(jié)合能參考基準(zhǔn)
3.3.5 絕緣體的電荷補(bǔ)償
3.3.6 峰寬
3.3.7 峰擬合
3.4 非彈性平均自由程和采樣深度
3.5 定量
3.5.1 定量方法
3.5.2 定量標(biāo)準(zhǔn)
3.5.3 定量實(shí)例
3.6 譜圖特征
3.7 儀器
3.7.1 ESCA實(shí)驗(yàn)的真空系統(tǒng)
3.7.2 X射線(xiàn)源
3.7.3 分析器
3.7.4 數(shù)據(jù)系統(tǒng)
3.7.5 附件
3.8 譜圖質(zhì)量
3.9 深度剖析
3.10 X-Y分布和成像
3.11 化學(xué)衍生法
3.12 價(jià)帶
3.13 展望
……
第4章 SIMS的分子表面質(zhì)譜
第5章 動(dòng)態(tài)SIMS
第6章 低能離子散射和盧瑟福背散射
第7章 表面振動(dòng)光譜
第8章 基于干涉技術(shù)的表面結(jié)構(gòu)確定
第9章 掃描探針顯微鏡
第10章 多變量數(shù)據(jù)分析技術(shù)在表面分析中的應(yīng)用
附錄1 應(yīng)用表面科學(xué)真空技術(shù)
附錄2 單位、基本物理常數(shù)和換算