本書(shū)涵蓋了表面微觀形貌測(cè)量的主要設(shè)計(jì)理論, 對(duì)微觀形貌的光學(xué)測(cè)量方法--相移干涉顯微測(cè)量技術(shù), 展開(kāi)了全面、系統(tǒng)的理論與實(shí)驗(yàn)研究論述。針對(duì)相移干涉算法, 即相位提取算法和相位去包裹算法的理論進(jìn)行了系統(tǒng)的闡述。在干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上, 應(yīng)用新提出和發(fā)展的算法編制的軟件, 進(jìn)行了被測(cè)物體的相位計(jì)算以及截?cái)辔幌嗟恼�體恢復(fù), 進(jìn)一步提高了微觀表面形貌的測(cè)量精度和測(cè)量可靠性、提高了測(cè)量系統(tǒng)的整體性能指標(biāo)。對(duì)測(cè)量過(guò)程中出現(xiàn)的相位截?cái)喱F(xiàn)象, 應(yīng)用傳統(tǒng)相位去包裹法解決了原理包裹問(wèn)題。應(yīng)用算法解決了噪聲包裹導(dǎo)致的相位突跳, 恢復(fù)了物體表面形貌的連續(xù)性和真實(shí)性, 并對(duì)算法進(jìn)行了計(jì)算機(jī)模擬驗(yàn)證, 證明了它們對(duì)現(xiàn)實(shí)物體處理的有效性。建立了微分相襯干涉顯微測(cè)量系統(tǒng); 應(yīng)用測(cè)試軟件、多個(gè)算法軟件及多組數(shù)據(jù)處理軟件, 分析并解決了微觀表面形貌測(cè)量中存在的一些技術(shù)難題; 對(duì)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的誤差分析。本書(shū)對(duì)微觀形貌測(cè)量的知識(shí)點(diǎn)進(jìn)行了精心編排和必要的精簡(jiǎn)取舍, 突出特色, 助力人們掌握相關(guān)的形貌測(cè)量方法, 并能用于解決測(cè)控技術(shù)與儀器及光學(xué)工程研制方面的復(fù)雜過(guò)程問(wèn)題。