針對微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快，一些理論、方法及實現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點，本書緊密結(jié)合微傳感器的最新發(fā)展動態(tài)，對熱、輻射、機械、磁、化學(xué)量微傳感器的基本理論及實現(xiàn)技術(shù)進(jìn)行分類闡述，同時介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。幫助讀者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識的同時，建立微傳感器設(shè)計、研究、制作及實驗分析等方面的基本概念。做到面對具體的微傳感器問題時，能查到專業(yè)文獻(xiàn)、能讀懂文獻(xiàn)內(nèi)容、能自行設(shè)計實驗、能對實驗結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)。同時順應(yīng)微傳感器發(fā)展潮流，引入更多微機電系統(tǒng)的新興應(yīng)用，讓讀者對微傳感器有一個更全面的認(rèn)識。
本書所涉及的微傳感器，是指那些至少有一個物理尺寸在亞毫米量級的傳感器。全書共分10章： 引言、微傳感器與信號、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學(xué)量微傳感器、輻射量微傳感器、機械量微傳感器、磁微傳感器、化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)、化學(xué)量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取。
本書可供高等工科院校微機電系統(tǒng)、測控技術(shù)與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀表等專業(yè)師生使用，也可供從事儀器相關(guān)專業(yè)的研究、設(shè)計、制造、使用的工程技術(shù)人員學(xué)習(xí)和參考。