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晶體生長(zhǎng)手冊(cè)(5)晶體生長(zhǎng)模型及缺陷表征 《Springer手冊(cè)精選系列·晶體生長(zhǎng)手冊(cè)(第5冊(cè)):晶體生長(zhǎng)模型及缺陷表征(影印版)》介紹了生長(zhǎng)工藝和缺陷形成的模型。這些章節(jié)驗(yàn)證了工藝參數(shù)和產(chǎn)生晶體質(zhì)量問(wèn)題包括缺陷形成的直接相互作用關(guān)系。隨后的PartG展示了結(jié)晶材料特性和分析的發(fā)展。PartF和G說(shuō)明了預(yù)測(cè)工具和分析技術(shù)在幫助高質(zhì)量的大尺寸晶體生長(zhǎng)工藝的設(shè)計(jì)和控制方面是非常好用的。
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