納米技術(shù)是20世紀末開始發(fā)展起來的新科技，是21世紀很具發(fā)展?jié)摿Φ募夹g(shù)領(lǐng)域。納米材料與納米結(jié)構(gòu)是納米技術(shù)的核心，納米材料是其物質(zhì)基礎(chǔ)和重要組成部分。本書對氧化物納米材料和硅納米材料的制備及應(yīng)用進行了研究，主要內(nèi)容涵蓋了氧化鋅材料的微結(jié)構(gòu)及應(yīng)用、氧化鈦材料的微結(jié)構(gòu)及應(yīng)用、氧化鎢材料的微結(jié)構(gòu)及應(yīng)用等。本書結(jié)構(gòu)合理，條理清晰，內(nèi)容豐富新穎，可供材料科學(xué)工作者參考使用。

本書是微米/納米加工技術(shù)方面的一本優(yōu)秀著作，既有一定的理論深度，又有足夠的廣度，而且還有較高的可讀性。它較為系統(tǒng)地梳理了微米加工（特別是非硅基加工）技術(shù)以及納米加工手段，結(jié)合微流體、微慣性器件、納米傳感器等方面的典型案例，闡釋了這些技術(shù)的原理和特點，提出了特定問題的高效率解決方案，給出了工藝設(shè)計方面的指南，并對這些技術(shù)的發(fā)展走向做出了高屋建瓴的判斷。