《材料科學與工程系列：薄膜技術與薄膜材料》的應用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光I.ED固體照明、太陽能電池到材料的表面改性等，涉及高新技術產業(yè)的各個領域�！恫牧峡茖W與工程系列：薄膜技術與薄膜材料》內容包括真空技術基礎、薄膜制備、微細加工、薄膜材料及應用等4

《材料科學與工程系列：薄膜技術與薄膜材料》的應用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光I.ED固體照明、太陽能電池到材料的表面改性等，涉及高新技術產業(yè)的各個領域。《材料科學與工程系列：薄膜技術與薄膜材料》內容包括真空技術基礎、薄膜制備、微細加工、薄膜材料及應用等4

本書較為系統(tǒng)、全面地介紹了與薄膜制備技術相關的各種基礎知識，涉及了薄膜制備系統(tǒng)、典型的物理制膜與化學制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技術，同時緊密結合當前薄膜領域最先進的技術、方法和裝置。原外版書作者長期在薄膜科學與技術領域從事研究、開發(fā)和教育工作，有豐富的工作經驗與廣博的專業(yè)知識。本書自初版以來，已有三