第一章 緒論
1.1 研究背景和意義
1.2 射頻空心陰極放電的研究進(jìn)展
1.2.1 空心陰極效應(yīng)
1.2.2 射頻空心陰極放電中的電子加熱
1.2.3 密度增強(qiáng)的射頻空心陰極放電研究
1.3 氣體放電中的條紋研究
1.3.1 氣體放電條紋的背景介紹
1.3.2 直流輝光放電中的條紋
1.3.3 射頻放電中的條紋
1.3.4 其他放電系統(tǒng)中的條紋
1.4 本書的研究內(nèi)容與安排
第二章 PIC/MCC數(shù)值模擬方法
2.1 概述
2.2 PIC方法
2.2.1 電荷分配方法
2.2.2 泊松方程
2.2.3 粒子推進(jìn)
2.3 MCC模型
2.4 碰撞后速度的確定
2.5 本書采用的結(jié)構(gòu)模型
2.5.1 模型描述
2.5.2 代碼驗(yàn)證
第三章 RF-HCD中的空心陰極效應(yīng)
3.1 RF-HCD中HCE的一般特性
3.1.1 存在HCE時(shí)的電子密度分布
3.1.2 改變孔徑對(duì)HCE的影響
3.1.3 射頻電壓的周期性變化對(duì)HCE的影響
3.1.3.1 空心電極鞘層擴(kuò)張時(shí)的鞘層動(dòng)力學(xué)
3.1.3.2 空心電極鞘層塌縮時(shí)的鞘層動(dòng)力學(xué)
3.1.4 射頻空心陰極放電中HCE的變化規(guī)律
3.1.4.1 空心電極鞘層擴(kuò)張時(shí)的HCE變化規(guī)律
3.1.4.2 空心電極鞘層塌縮時(shí)的HCE變化規(guī)律
3.2 HCE的影響因素
3.2.1 電壓對(duì)HCE的影響
3.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對(duì)HCE的影響
3.2.3 外加偏壓對(duì)HCE的影響
3.2.4 電極間距對(duì)HCE的影響
3.2.5 孔深對(duì)HCE的影響
3.2.6 孔徑對(duì)HCE的影響
3.2.7 氣壓對(duì)HCE的影響
3.3 討論
3.4 本章小結(jié)
第四章 RF-HCD中的孔外等離子體增強(qiáng)效應(yīng)
4.1 RF-HCD中的孔外增強(qiáng)放電
4.2 孔外等離子體密度的影響因素
4.2.1 電壓對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.2.2 二次電子發(fā)射系數(shù)對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.2.3 外加直流偏壓對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.2.4 孔深對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.2.5 孔徑對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.2.6 氣壓對(duì)孔外等離子體密度的影響
4.3 討論
4.4 本章小結(jié)
第五章 RF-HCD中的條紋現(xiàn)象
5.1 實(shí)驗(yàn)裝置
5.2 低氣壓下RF-HCD中的條紋
5.3 放電參數(shù)對(duì)條紋的影響
5.3.1 功率對(duì)條紋的影響
5.3.2 氣壓對(duì)條紋的影響
5.3.3 管徑對(duì)條紋的影響
5.3.4 孔深對(duì)條紋的影響
5.4 條紋化通道的電場(chǎng)及其與條紋間距S的關(guān)系
5.5 RF-CCP條紋的機(jī)理
5.6 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)和展望
6.1 本書主要工作和結(jié)論
6.2本書主要的創(chuàng)新性成果
6.3 對(duì)今后工作的展望
參考文獻(xiàn)